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AE脈沖直流電源維修PINNACLE PLUS10K20K北京

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Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 電源為單體直流脈沖電源，為您的反應(yīng)工藝提供脈沖直流電解決方案所有優(yōu)點(diǎn)，包括使用簡單、節(jié)約成本以及具有的靈活性。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)直流電技術(shù)和經(jīng)過工藝證明的脈沖直流電技術(shù)，Pinnacle Plus 電源與復(fù)雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重復(fù)性能更好，薄膜質(zhì)量更為優(yōu)異。優(yōu)勢:

更高的沉積率與產(chǎn)品率

薄膜均勻性和品質(zhì)一流

成弧造成的基材損壞減少

成本更低

系統(tǒng)整合容易

工藝靈活性和寬容度

重復(fù)性能

在過度曲線上運(yùn)行穩(wěn)定

吞吐量更高

系統(tǒng)靈活性特點(diǎn):

一個(gè)緊湊型封裝

頻率調(diào)節(jié)范圍為 5-350kHz

占空比大

電壓范圍寬——單輸出寬阻抗范圍

大功率運(yùn)行

基材溫度低

單輸出（5kW 和 10kW 型號(hào)）

用于雙陰極生產(chǎn)的雙輸出（雙路5kW 型號(hào)）

弧控制

反應(yīng)性濺射閉環(huán)控制規(guī)格：

輸出功率：5KW單輸出、5KW雙輸出、10KW單輸出

電壓范圍：325-650VDC，可選325-800VDC輸出（寬Z）

輸出功率接頭：五個(gè)終端、DIN壓縮接頭；電線尺寸：＃6 AWG

輸出接頭：兩個(gè)終端、多個(gè)觸點(diǎn)、帶有應(yīng)力釋放功能的可插入式接頭或UHF接頭

電流：15.4ADC；15.4ADC/輸出；30.8ADC

頻率：5到350KHz，可變

反向電壓：工作電壓的0.1

點(diǎn)火功能：1500VDC，正常1350VDC

調(diào)節(jié)模式：功率、電壓或電流

交流線電壓：200/208、400或480VAC

電流：5KW：200/208VAC：標(biāo)稱值17A/Φ

400VAC：標(biāo)稱值8.5A/Φ

480VAC：標(biāo)稱值7.5A/Φ

5KW雙輸出/10KW單輸出200/208VAC：標(biāo)稱值35A/Φ

400VAC：標(biāo)稱值17A/Φ

480VAC：標(biāo)稱值15A/Φ

RF Generator射頻電源維修和配套直流電源維修 1、AE(ADVANCED ENERGY)射頻電源/直流電源 2、MKS ENI射頻電源/直流電源 3、DAIHEN射頻電源 4、KYOSAN射頻電源/直流電源

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