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射頻電源常見故障及維修:故障現(xiàn)象1:打開電源,電源指示燈不亮;故障現(xiàn)象2:電源燈亮了,預熱燈不亮;故障現(xiàn)象3:電源燈亮了,預熱燈亮、輝光亮,匹配器功率及反射功率電壓電流達不到等