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dressler電源維修LFGS-1250C射頻電源維修

LFGS射頻發(fā)生器是用于半導體生產和一般等離子處理的多功能射頻發(fā)生器。此類可變頻率發(fā)生器采用了一種半橋、D類型放大器理念，是一種空冷式緊湊型的設計，可安裝在19英寸機架上面。應用包括濺射、等離子蝕刻、化學氣象沉積、聚合以及表面處理設備上。

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質加熱設備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。

測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，測量場效應功率開關管無V0波形，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機器用久后出現(xiàn)V0端與板之間虛焊，V0信號沒有送到場效應管。當濾波電容上無380VDC左右電壓時，說明PFC電路沒有正常工作，PFC模塊關鍵檢測腳為電源輸入腳VC，啟動腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳，將V0端與板上焊點焊好，用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當Vstart/control端為低電平時，PFC亦不能工作，則要檢測其端點與外部相連的有關電路。

額定驅動頻率一般都是大于負載所需要的驅動頻率的。這樣做雖然使電機提供足夠的驅動頻率，電機的正常運作，但是其中有很大一部分的驅動頻率都會被浪費掉，這就造成了大量的電力能源被浪費，不能得到很好利用，不符合可持續(xù)發(fā)展的要求。為了節(jié)約電力，使電力得到充分利用的要求，電機變頻控制被開發(fā)了出來，電機變頻控制能夠根據負載所需要的驅動頻率來改變電機輸出的功率和電壓，不會有多余的驅動被浪費，很好的提了電能的利用率，符合減排的要求。隨著我國對減排的要求越來越高，對于變頻控制系統(tǒng)的開發(fā)和研究也不斷的完善。

這個系統(tǒng)是一種典型的開環(huán)控制系統(tǒng)，這個系統(tǒng)能夠滿足大多數電機的平滑的變速要是，但是對于動態(tài)和靜態(tài)的調節(jié)性能都是有限的，不能應用在對動態(tài)和靜態(tài)性能要求比較嚴格的地方。為了實現(xiàn)動態(tài)和靜態(tài)調節(jié)的高性能，我們只能采用閉環(huán)控制系統(tǒng)來實現(xiàn)。

所以提出了控制閉環(huán)轉差頻率的電機調速方式，這種調速方式能夠在靜態(tài)動態(tài)調速中到很高的性能，但是這種系統(tǒng)只能在轉速比較慢的電機中得到應用，應為在電機的轉速較高的時候，并且結構簡單。這個系統(tǒng)應用在風機等大型的并且對于變頻系統(tǒng)的動態(tài)性能要求不是很高的地方。

射頻電源常見故障及維修:故障現(xiàn)象1:打開電源,電源指示燈不亮;故障現(xiàn)象2:電源燈亮了,預熱燈不亮;故障現(xiàn)象3:電源燈亮了,預熱燈亮、輝光亮,匹配器功率及反射功率電壓電流達不到等。

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