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美國AE電源維修 MDX系列 射頻電源 直流電源維修

AE直流電源維修故障范圍包括:無輸出,燒保險,開不了機,面板無顯示修,啟動無輸出,輸出電壓不正常,帶不了負載,模塊壞等

AE電源維修常見型號系列：

AE電源維修，美國MDX,MDXII,Pinnacle,Diαmond系列AE電源維修，AE電鍍電源維修，AE射頻電源維修，電鍍高頻電源維修，刻蝕射頻電源維修，RE射頻電源維修，PECVD射頻電源維修，大功率工業(yè)電源維修，UPS電源維修等各行業(yè)工業(yè)用電源維修

AE MDX直流電源操作及接線說明

1）指示燈

Output Power

a)Stop的指示燈亮時，表示電源已關閉

b)Start的指示燈亮時，表示電源已打開Regulation

a)Power的指示燈亮時，表示電源處于功率模式，設定值是功率值

b)Current的指示燈亮時，表示電源處于電流模式，設定值是電流值

c)Power和Current的指示燈同時亮時，表示電源處于電壓模式，設定值是電壓值

d)Power和Current的指示燈同時閃時，表示電源處于未知模式Status

a)Arc指示燈亮時，表示腔室內阻抗過低，輸出電流過電源規(guī)定的大值

b)Setpoint指示燈亮時，表示電源的輸出值已經達到設定值

c)Remote指示燈亮時，表示電源的開關或設置值處于遠控模式

d)Output指示燈亮時，表示電源已經打開

e)Plαmα指示燈亮時，表示輸出電流大于10mA

f)Interlock指示燈亮時，表示互鎖已經滿足，若不滿足，則該燈閃爍

Level鍵：用于設置電源參數

Display鍵：按改鍵可切換顯示功率、電壓或者電流

撥碼開關

RАMP，0.1 Sec：開關置下時，表示電源輸出從0到設定值的時間為0.1秒

RАMP，1.0 Sec：開關置下時，表示電源輸出從0到設定值的時間為1.0秒

RАMP，10 Sec：開關置下時，表示電源輸出從0到設定值的時間為10秒C HOLD：開關置下時，可縮短一次以后電源輸出值達到設定值的時間ON/OFF：開關置上時，表示通過User Port來打開或者關閉電源，置下時，表示通過前面板打開或者關閉電源

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